- 可有效檢測(cè)最小線(xiàn)寬20%尺寸大小的缺口、毛刺及0.4mil以下的微短/開(kāi)路缺陷；
- 特別軟件設(shè)計(jì)，在防止細(xì)小缺陷漏測(cè)的同時(shí)將誤檢數(shù)目控制到最低，提高整體檢測(cè)效率；
- CAM資料導(dǎo)入分析僅需2-10秒，為目前行業(yè)最快速度。無(wú)需單獨(dú)的建模工作站。人性化操作界面，20分鐘即可獨(dú)立進(jìn)行操作；掃描時(shí)間小于35秒/張；
- 掌握核心技術(shù)，可根據(jù)用戶(hù)需求量打造；服務(wù)便捷。
| 產(chǎn)品型號(hào) |
ESL D1 |
ESL D3 |
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最小線(xiàn)寬/線(xiàn)距 |
3mil（75μm） |
2mil（50μm） |
| 檢測(cè)速度（秒/面） |
35 sec/Side (Size 18"×24" at 4mil line width) |
90 sec/Side (Size 18"×24" at 2mil line width) |
| 檢測(cè)精度 |
毛刺、缺口：最小線(xiàn)寬20%尺寸 開(kāi)路、短路：0.5mil *以上規(guī)格可根據(jù)用戶(hù)需求調(diào)整 |
毛刺、缺口：最小線(xiàn)寬20%尺寸 開(kāi)路、短路：0.4mil *以上規(guī)格可根據(jù)用戶(hù)需求調(diào)整 |
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缺陷類(lèi)型 |
開(kāi)路、短路、缺口、毛刺、針孔、尺寸違規(guī)、位置違規(guī)、孤立點(diǎn)... ... |
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| CAM資料格式 |
GERBER RS-274X、 ODB++ |
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| 最大檢測(cè)尺寸 |
26"×26"(660 ×660mm ) or 26"×30"(660 ×760mm) |
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| 適用底片 |
黑片/棕片 |
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| 檢測(cè)原理 |
CAM特征對(duì)比 |
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| 二次元功能 |
可選配 |
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| 缺陷確認(rèn)方式 | 在線(xiàn)式確認(rèn) | |
| 光源系統(tǒng) | 高亮LED光源（壽命：大于3年） | |
| 相機(jī) |
高速線(xiàn)陣CCD相機(jī) |
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| 操作系統(tǒng) | Microsoft Windows 7 | |
| 尺寸 Size L×W×H | 1510mm ×1380mm ×1580mm | |
| 重量 | 1200KG | |
| 電力要求 | 單相 AC200V，50Hz，2KW | |
| 吸氣 |
自備真空吸附單元 |
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| SPC | 缺陷自動(dòng)分類(lèi)及數(shù)據(jù) | |
